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做半导体时石英坩埚为什么要套上石墨坩埚?

文章来源:实验室器皿网 上传时间:2017-02-13 浏览次数:
文章摘要:石英坩埚可在1650度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单石英坩埚晶硅,是发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用这种坩埚取代了小的透明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

  套上石墨坩埚的原因只是会增加热阻,放东西进去的话加热效果会变得很差。当然如果你套得非常非常紧的话,加热后石墨坩埚可能会裂开。石墨坩埚会在酒精灯上发生燃烧,石英坩埚因受热不均可能会导致出现裂缝 。

  在加热时还要注意以下几点:

  1、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐反应。

  2.石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。

  3.石英质脆,易破,使用时要注意。

  4.除Hf外,普通稀无机酸可用作清洗液。

  石墨坩埚的主体原料,是结晶形天然石墨。所以它保持着天然石墨原有的各种理化特性。

  石墨坩埚具有良好的热导性和耐高温性,在高温使用过程中,热膨胀系数小,对急热、急冷具有一定抗应变性能。对酸,碱性溶液的抗腐蚀性较强,具有优良的化学稳定性。

  石墨坩埚,因具有以上优良的性能,所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门,被广泛用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的技术经济效果。